关于MEMS
MEMS（Micro Electronic Mechanical System），指微电子机械系统。是将宏观产品用微机械加工手段和集成电路技术相结合。实现产品、器件的微型化。
我国十五863计划将MEMS列为重大专项，围绕生物化学分析、工业自动化、信息技术等行业的发展需要，以发展MEMS产业化基础的关键技术为切入点，开发出若干成批量、多品种、高质量的MEMS器件及系统，逐步建立起我国MEMS研发体系和产业化基地，为推动MEMS的可持续发展和产业化打下良好基础，并在某些方面进入国际领先水平。
重大专项研究：MEMS设计方法、MEMS制造技术、MEMS器件及微系统。
|
